净化程序

1. 整个房间净化

集中式净化空调系统创造了一种在整个房间内保持相同洁净环境的净化处理方法，这被称为整体房间净化. 这是清洁技术中最早开发的方法，并且至今仍在使用. 此方法适用于过程设备较高，数量较大且室内要求相同清洁度的地方. 但是，该方法投资大，操作管理复杂，建设周期长.

2. 局部净化

在一般的空调环境中，对空调或局部净化设备（例如洁净工作台，棚式垂直层流装置，层流罩等）的净化会导致局部区域达到一定程度的清洁度. 纯化. 此方法适用于生产量较小或使用原始车间进行技术改造的地方. 目前，最广泛使用的净化处理方法是全室净化和局部净化的结合. 这是在清洁技术发展中产生的一种净化方法. 它不仅可以确保一定程度的室内清洁度，而且可以在局部区域实现较高的清洁度. 环境，达到满足高清洁环境和节约能源的生产要求的双重目的. 例如，要求100级清洁度的操作部分. 当生产量较小时，只要在洁净度较低的湍流洁净室中使用洁净室或层流罩等局部净化设备，就可以对整个房间进行清洗和局部化. 纯化结合纯化.

3. 清理隧道

由两个层流处理区和湍流操作区组成的净化处理方法在中间形成隧道形的清洁环境，称为清洁隧道. 这是全房间净化和部分净化的典型组合. 它是当前采用的纯化方法，也称为第三代纯化方法.

根据构成洁净通道的设备，洁净通道可以分为以下几种形式.

（1）桌面清理隧道

这种干净的隧道形式将干净的工作台彼此连接，并消除了中间侧壁，从而形成了生产所需的隧道式生产线. 当过程需要垂直层流时，可以使用垂直层流表. 当过程需要水平层流时，选择水平层流表. 该净化方法比整个房间净化更容易确保局部空间的高清洁度，并且由于工作台彼此连接，所以可以减少或防止交叉污染. 另外，对建筑物的要求相对简单，仅需要动荡的洁净室环境. 缺点是清洁台的大小是固定的，这使操作表面缺乏灵活性. 制程设备必须适应工作台的尺寸，调整不方便.

（2）铺干净的隧道

这种干净的隧道形式是由干净的棚屋组成的，即在生产线上串联连接的棚屋式垂直层流单元. 根据工艺要求，可以改变洁净棚的面积，空气可以全是室内循环型，也可以连接到集中净化空调系统以吸收部分新鲜空气. 棚式洁净隧道适用于具有大型加工设备的地方.

（3）引擎盖清洁通道

这种清洁隧道由层流罩组成，也就是说，在生产线上串联连接的罩型垂直层流单元. 由于层流罩的深度小于洁净棚的深度，因此仅适用于过程设备较小的场所. 空气循环方式与棚式洁净通道和桌面洁净通道相同.

（4）中央供气清洁通道

这种清洁的隧道形式由一个静压箱组成，该静压箱中装有集中供气系统中的高效过滤器. 层流工作区的宽度可以根据工艺要求确定. 与台式，棚子和罩子清洁隧道不同，层流工作区域的宽度由于局部净化设备的尺寸而受到限制，并且设计可以更加灵活. 使用这种形式时，回流空气可以穿过技术夹点，或者如图所示，在湍流的操作区域中设置一条沟槽. 另外，可以在工作区的一侧沿墙板布置工业管道，并将排气管连接到沟槽.

干净隧道的特征如下:

（1）在隧道中建立不同程度的清洁度，以便充分利用不同清洁气流的特性，并最大程度地满足工艺要求. 通常，隧道的两侧是高洁净层流工作区，中间是湍流工作区. 工艺区域连接成一条线，易于使用，人员的活动不会造成交叉污染.

（2）由于减少了隧道中的层流面积，因此基本建设成本和运营成本比具有完整房间净化功能的垂直层流洁净室少三分之一以上. 湍流操作区的净高度比层流处理区的高度高，可以满足人员舒适度的要求.

（3）技术上的压痕可用作回风通道，以及各种工业管道和过程辅助设备. 局部净化设备（干净的工作台，干净的棚子和层流罩等），构成干净隧道的工业管道和过程辅助设备的维护可以在技术上进行. 由于技术通道相对于清洁隧道处于负压状态，因此维护工作不会对清洁隧道造成污染，并且可以在不停止过程生产的情况下进行维护工作.

清洁隧道所需的局部净化设备，天花板，壁板车间净化，回风口，门窗等组件可以标准化和模块化，由专业工厂加工和生产，然后现场组装. 同时，可以快速拆卸和重新组装干净的隧道，从而为工艺变更提供了方便.

（4）洁净隧道可以按一定规模配备净化空调系统，因此该空调系统可以通用化和系列化车间净化，大大缩短了设计周期.

（5）通常，干净的隧道具有相对简单的构造要求. 只要它们具有动荡的洁净室环境，就可以满足要求.

4. 清洁管道

在与室内空气环境隔离的管道中要求超高清洁度（例如1级或10级）的净化过程称为清洁管. 此方法要求过程生产必须自动化，并且高效过滤器必须基于0.1μm的灰尘颗粒才能实现超高清洁度. 另外，这种方法是因为管道中的空气被净化，并且送出和返回的空气量很小，可以大大节省能源. 它是清洁技术的发展方向，也被称为第四代净化方法.

上面介绍的净化处理方案需要根据具体情况确定.

目前，技术发展相对成熟的是全室净化，部分净化（包括全室净化和部分净化的结合）和洁净隧道的三种净化处理方法. 两种纯化方法作为设计方案.

在满足技术要求的条件下，应尽可能采用局部纯化方法. 局部净化使用局部净化设备，并在一般的空调环境中进行. 由于本地净化设备一般是由专业工厂生产的，因此设备质量高，可以加快现场施工的速度. 在重建项目中可以优先考虑该方案.

当不能采用局部净化方法满足工艺要求时，可以采用局部净化和全室净化相结合的净化方法作为设计方案.

当上述净化方法不能满足工艺要求时，选择整个房间净化的净化方法作为设计方案. 由于这种方法会使整个房间保持相同的清洁度，尤其是在清洁度高的情况下，初期投资和运营成本都很高，因此应严格控制清洁室的面积.

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